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真空等離子清洗機
更新時(shí)間:2024-06-13
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廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
生產(chǎn)地址:
VP-R系列真空等離子清洗機
VP-R系列真空等離子處理儀對標國際品牌,*技術(shù)空白(專(zhuān)li:低溫真空石英腔體等離子清洗裝置),VP-R系列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿(mǎn)功率運行30分鐘,腔體溫度不高于32℃,不損傷樣品,適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
VP-R系列真空等離子清洗機特點(diǎn)
VP-R系列真空等離子清洗機優(yōu)勢
01 Better Reliability,Better Operation
內置兩路氣路,氣體流量可調,無(wú)需再搭配氣體混合儀
zuan利軟件、操作簡(jiǎn)易,智能化設計,避免誤操作
采用數字顯示壓力,實(shí)時(shí)觀(guān)察腔體壓力變化情況
中英文操作系統,觸摸屏控制,人機界面友好
電流、電壓實(shí)時(shí)監測,確保儀器穩定安全運行
清洗時(shí)長(cháng)可在觸摸屏設置,等離子處理時(shí)間精確到秒(s)
PLASMA處理結束后,自動(dòng)泄壓,泄壓時(shí)長(cháng)和大小可調;可通入氮氣泄壓
功率高、中、低三擋可調
02對標國際yi線(xiàn)品牌,*技術(shù)空白
國內shou創(chuàng ),13.56MHz頻率用于PLASMA處理
性能bi肩國際一線(xiàn)產(chǎn)商,在控制自動(dòng)化,人性化設計方面國際領(lǐng)xian
通入氣體和泄壓是獨立通道互不干擾;自動(dòng)泄壓比手動(dòng)泄壓更方便
腔體低溫,滿(mǎn)功率運行30分鐘腔體溫度不高于32°C,不損傷樣品
腔體材質(zhì)為石英,不與等離子體反應,保證樣品不被污染
13.56MHz等離子體處理對材料既有清潔、刻蝕、也有活化改性作用
等離子體從腔體四周發(fā)出,對樣品處理更均勻、更*
03細節把控,給用戶(hù)更好體驗
石英材質(zhì)真空腔體不與等離子體產(chǎn)生反應,不會(huì )污染樣品
配備的真空泵噪音和油氣污染小,真空度高
真空泵與主機聯(lián)動(dòng),可在觸摸屏控制真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉
1.5米不銹鋼波紋管,比橡膠管更耐用,密封性更好
標配清洗托盤(pán),方便使用
安捷倫Agilent干泵(選配),避免油氣污染
OF-20油污過(guò)濾器(選配),避免排氣口油氣對實(shí)驗室環(huán)境的污染
04經(jīng)典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì),增加石墨烯表面親水基團(-OH)提高親水性
金屬工件油污等離子清洗,不損傷樣品,去除表面油污
PDMS等離子活化改性,提升親水性和鍵合力
ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數
二維材料的清潔、刻蝕
硅片親水性處理,改性、活化表面
05石墨烯粉末VP-R3親水性處理XPS譜圖分析
處理前石墨烯粉末溶于蒸餾水,會(huì )粘在瓶壁上
處理后石墨烯粉末上下?lián)u勻后,不會(huì )粘在瓶壁
處理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底,肉眼可見(jiàn)分層明顯
處理后石墨烯粉末懸浮在水體,說(shuō)明其親水性增強
綠色曲線(xiàn)為處理前的XPS譜圖,曲線(xiàn)一直都是平穩走向
紅色曲線(xiàn)為處理后的XPS譜圖,曲線(xiàn)在285eV左右有個(gè)峰值,
可知石墨烯粉末的性質(zhì)已改變
處理后石墨烯導熱率可提高40%,穩定性增強
06 ITO導電玻璃等離子VP-R3處理接觸角測量?jì)x分析
CM-180接觸角測定可知,未處理ITO接觸角為80°C,處理后ITO接觸角48°C,親水性明顯增強
處理前平均接觸角、右接觸角和左接觸角三條曲線(xiàn)分離,處理后三條曲線(xiàn)重合,說(shuō)明ITO表面更平整
VP-R系列滿(mǎn)功率運行30分鐘腔體溫度低于32°C,非常適合ITO導電玻璃不耐熱屬性
通入氧等離子體時(shí),可以提高ITO導電玻璃的功函數
VP-R系列真空等離子清洗機技術(shù)規格
型號 | VP-R手動(dòng)版 | VP-R3 | VP-R5 | VP-R10 |
腔體材質(zhì) | 石英玻璃 | |||
腔體容量 | 2L | 3L | 5L | 10L |
內腔尺寸 | Φ100x200Lmm | Φ150x200Lmm | Φ150x270Lmm | Φ200x320Lmm |
射頻功率 | 160W/200W(高功率版) | |||
射頻頻率 | 13.56MHz | |||
RF放射 | 無(wú) | |||
頻率偏移量 | 小于0.2KHz | |||
等離子體轟擊 | 從四周向中間 | |||
等離子體激發(fā) | 延時(shí)自動(dòng)啟動(dòng) | |||
腔體溫度 | 滿(mǎn)功率運行30分鐘腔體溫度<32℃ | |||
清洗時(shí)間 | 手動(dòng)設置 | 0 - 1800S 可調 | ||
功率調節 | 高、中、低三擋 | 高、中、低三擋可調 | ||
顯示屏 | 無(wú) | 4.3寸觸摸屏 | ||
操作控制 | 手動(dòng)控制 | 提供中英文操作界面,觸摸屏控制(設置清洗時(shí)間) | ||
氣體流量計 | 無(wú) | 高精密2路浮子流量計 | ||
提供進(jìn)氣氣路 | 一路進(jìn)氣,進(jìn)氣可調 | 兩路進(jìn)氣,流量 0-300ml/min可調(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,氨氣等其他混合氣體) | ||
進(jìn)氣管 | 一根6x4PU管 | 兩根6x4PU管,尾端配6轉10快擰接頭 | ||
泄壓 | 手動(dòng)開(kāi)關(guān)泄壓,泄壓速度可調 | 等離子處理結束,自動(dòng)泄壓,泄壓時(shí)長(cháng)可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道(選配) | ||
真空泵極限真空度 | 5x10?²Pa | |||
噪音 | ≤56dB | |||
抽真空時(shí)間 | 啟動(dòng)到發(fā)出輝光≤35秒(時(shí)間可調) | ≤55秒(時(shí)間可調) | ||
真空檢測 | 無(wú) | 數字顯示 | ||
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |||
腔體門(mén) | 帶可視窗鋁合金 | 傳感器識別開(kāi)/關(guān),帶可視窗高強度鋁合金 | ||
真空泵控制 | 主機與真空泵聯(lián)動(dòng) | 主機與真空泵自動(dòng)聯(lián)動(dòng)并可在觸摸屏上控制真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉 | ||
供電電源 | AC220V/50Hz | |||
箱體平衡 | 減震橡膠腳杯 | |||
外形尺寸(LxWxH) | 420x420x320mm | 560x450x360mm | 650x500x475mm |
訂購信息
標準配置 | 主機、真空泵、1.5米波紋管、兩路/一路(手動(dòng)版)進(jìn)氣管、清洗托盤(pán)、六角工具、說(shuō)明書(shū)、合格證、保修卡 |
選配件 | 1、油污過(guò)濾器 2、高硼硅圓形托盤(pán) 3、干性真空泵(防止油氣揮發(fā),高潔凈實(shí)驗室適用) |