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主營(yíng)產(chǎn)品：實(shí)驗室檢測設備，離心機，食品安全檢測設備，水質(zhì)分析，紫外可見(jiàn)分光光度計，液氮罐，萬(wàn)分之一天平，離心機生物實(shí)驗室工程，移液器

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等離子灰化機

等離子灰化機

更新時(shí)間：2024-06-09

訪(fǎng)問(wèn)量：1456

廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：
PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經(jīng)典桶型。
PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓，玻璃基板對應 

特征 

● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔

● 小型一體化設計

● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型） 

規格 

型號

PR500

PR510

模式

DP模式，桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動(dòng)協(xié)調

反應部

反應腔

石英 Φ215×305mm

反應氣體

2系統（O2／CF4）

控制

手動(dòng)

觸摸屏自動(dòng)控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規格書(shū)

重量

約60kg

參照規格書(shū)

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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